Η Μαρία Χαρίτου αποφοίτησε από το τμήμα Φυσικής του Πανεπιστημίου Πατρών το 1990. Τον Απρίλιο του 2002 κατέλαβε τη θέση της Ερευνήτριας Δ΄ στο Επιστημονικό Πανεπιστημιακό Ινστιτούτο Επικοινωνιών και Υπολογιστών του ΕΜΠ. Έχει δημοσιεύσει 10 άρθρα σε διεθνή επιστημονικά περιοδικά και πρακτικά συνεδρίων.